Sư họ Tư-Mã, tổ tiên quê ở Hà-Nội, thân phụ Sư dời về Kỳ-Châu huyện Quảng-Tế, mới sanh Sư. Sư xuất gia khi còn để chóp. Tuy tuổi ấu thơ, mà Sư có ý chí siêu việt, ngưỡng mộ Không tông và các môn giải thoát.
Năm 14 tuổi là một Sa-di, Sư gặp Tổ Tăng-Xán cầu xin pháp môn giải thoát, được Tổ khai ngộ cho. Sư theo hầu Tổ suốt chín năm, mới được truyền pháp. Sau khi được pháp, Sư một bề tinh tấn trọn ngày đêm không nằm. Niên hiệu Đại-Nghiệp thứ 13 (613 T.L.) đời Tùy, Sư thống lãnh đồ chúng sang Kiết-Châu. Đến đây bị bọn giặc Tào-Võ-Vệ vây thành suốt bảy tuần. Dân chúng trong thành kinh hoàng. Sư dạy họ chí tâm niệm . Toàn dân trong thành đều thành kính tụng niệm. Quả nhiên bọn giặc nhìn trên thành có thần binh trùng điệp, chúng sợ hãi rút quân. Niên hiệu Võ-Đức thứ hai (619 T.L.) đời Đường, Sư sang đất Loa-Xuyên. Ở đây, Sư giáo hóa ngót bảy năm. Sau Sư trở về an trụ tại Kỳ-Xuân trên núi Phá-Đầu. Ở đây, Tăng chúng bốn phương đua nhau tìm đến tham vấn rất đông.